zao薄膜论文_学术之家

射频反应磁控溅射生长ZAO薄膜的光电性质第46-50页

关键词: zao薄膜磁控溅射基底温度光电性质

2019年第11期《实验室研究与探索》

透明导电薄膜ZnO∶Al的组织结构分析第32-36页

关键词: zao薄膜形态结构化学成份应用前景

2006年第02期《山西师范大学学报·自然科学版》

透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究第8-9页

关键词: 衬底透明导电薄膜 zao薄膜电学性能直流反应磁控溅射性能对比测试磁控反应溅射试样制备

2005年第01期《表面工程与再制造》

薄膜厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响第56-58页

关键词: zao薄膜薄膜厚度电学性能光学性能

2011年第16期《广州化工》

交流磁控溅射制备ZAO薄膜工艺参数的研究第643-646页

关键词: 磁控溅射 zao薄膜工艺参数电阻率

2005年第06期《材料科学与工艺》

电子束蒸发沉积ZAO薄膜正交试验第56-59页

关键词: zao薄膜电子束蒸发沉积正交试验

2005年第07期《半导体技术》

氧化锌铝薄膜的光电特性、制备技术及应用第59-62页

关键词: 电子技术 zao薄膜综述光电特性制备方法应用前景

2005年第05期《电子元件与材料》

氧气分压对磁控溅射法制备ZAO膜的影响第14-15页

关键词: 磁控溅射 zao薄膜氧气分压

2005年第01期《武汉理工大学学报·信息与管理工程版》

不同过渡层对PMMA基底沉积ZAO薄膜特性的影响第1204-1208页

关键词: zao薄膜过渡层电阻率透过率附着力

2018年第01期《功能材料》

原子力显微镜在ZAO薄膜表征中的应用第17-21页

关键词: zao薄膜射频磁控溅射原子力显微镜黏附力

2013年第02期《北京石油化工学院学报》

掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制第333-336页

关键词: 磁控溅射 zao薄膜红外反射

2005年第03期《金属学报》

ZnO：Al（ZAO）薄膜的制备与特性研究第84-88页

关键词: 直流反应磁控溅射 zao薄膜生长机制光电特性

2005年第01期《金属学报》

透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究第5-7页

关键词: zao薄膜衬底直流磁控溅射性能 xrd衍射分析电阻率透射率

2005年第07期《材料保护》

ZAO薄膜使用射频溅射法生长之参数的研究第910-912页

关键词: zao陶瓷靶材 zao薄膜 rf溅射 xrd 原子力显微镜

2006年第12期《应用化工》

透明导电薄膜ZnO∶Al的组织结构分析第32-36页

关键词: zao薄膜形态结构化学成份应用前景

2006年第02期《山西师大学报》

室温无反应磁控溅射法制备ZAO导电薄膜及其特性研究第15-18页

关键词: 直流磁控溅射 zao薄膜电阻率透光率

2007年第02期《电工材料》

Sol-gel法制备ZAO薄膜及其红外发射率的研究第58-62页

关键词: zao薄膜红外发射率红外隐身

2007年第02期《陕西科技大学学报》

溶胶-凝胶方法制备ZnO：Al薄膜及其制备工艺条件研究第63-68页

关键词: zao薄膜工艺条件

2007年第01期《影像科学与光化学》

气流场强度对直流磁控溅射ZAO薄膜性能的影响第135-137页

关键词: zao薄膜直流反应磁控溅射气流场强度电导率透射率

2007年第05期《材料导报》

氩气压强对直流磁控溅射ZnO:Al薄膜结构和性能的影响第764-767页

关键词: 直流磁控溅射 zao薄膜方块电阻透光率优值

2007年第05期《材料科学与工程学报》