作者：李士元; 付恩刚; 庄大明; 张弓磁控溅射zao薄膜工艺参数电阻率
摘要：对于交流磁控溅射氧化锌铝陶瓷靶材制备ZAO薄膜,研究了氧流量、基体温度、靶电流密度、铝的掺杂量、本底真空压力和工作气体压力对ZAO薄膜电学性能的影响规律,优化了工艺参数,为工业化生产提供了实验依据.
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《材料科学与工艺》（双月刊）创刊于1982年，由中华人民共和国工业和信息化部主管，哈尔滨工业大学;中国材料研究学会主办，CN刊号为：23-1345/TB，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《材料科学与工艺》主要刊登金属材料、无机非金属材料、高分子材料、复合材料、各种结构材料、功能材料组织与性能的关系、制备加工原理及工艺研究的最新成果。
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