作者：殷胜东; 马勇; 靳铁良zao薄膜直流反应磁控溅射气流场强度电导率透射率
摘要：用含2％Al的Zn／Al合金靶材，在不同气流场强度下使用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZAO（ZnO：Al）透明导电薄膜样品。定义气流场强度等于总气流量除以总气压。结果表明：气流场强度的大小对ZAO薄膜的表面形貌和电导率有较大影响，对可见光的透射率影响不大。在Ar气压强为0．3Pa，流量为22sccm，O2气压强为0．08Pa，流量为10sccm，气流场强度约为84sccm／Pa时制备ZAO薄膜的最低电阻率为4．2×10^-4 Ω·cm，可见光透射率为90％。
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