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期刊收录
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核燃料组件自适应柔性检测装置及其误差补偿方法第91-101页
关键词: 核燃料组件  检测装置  补偿方法  变形检测  膜厚测量  
2019年第08期 《仪器仪表学报》
离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术第79-82页
关键词: 膜厚测量  数据拟合  光学薄膜  离子束刻蚀  刻蚀速率  定标  
2004年第02期 《光学仪器》
波导薄膜厚度测量原理的理论分析第25-27页
关键词: 膜厚测量  波导薄膜  电磁场理论  励磁电流  
2005年第01期 《真空》
淬火过程流动及热参数的研究进展第194-201页
关键词: 温度  沸腾传热  膜厚测量  纳米改性  临界热流密度  
2018年第11期 《金属热处理》
激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用第1144-1148页
关键词: 激光扫描  红外热波成像  无损检测  温度场  膜厚测量  
2017年第12期 《红外技术》
衍射频谱法测光栅膜层厚度第46-48页
关键词: 膜厚测量  相位光栅  傅立叶光学  衍射频谱  
2004年第05期 《光电工程》
测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法第466-469页
关键词: 多层膜结构  薄膜厚度  相对介电常数  电极直径  测量精度  平行板电容  非接触测量  平面度测量  线性拟合  输出电压  测量电压  测量方法  膜厚测量  多层结构  传感头  空气隙  膜材料  成本低  
2005年第04期 《光电子激光》
表面速度效应对弹流润滑影响的实验研究第37-39页
关键词: 弹流润滑  表面速度效应  热效应  膜厚测量  
2018年第01期 《润滑与密封》
MOCVD多功能在线监测探头的设计与实现第172-178页
关键词: 光学设计  在线监测  红外测温  外延  mocvd  膜厚测量  
2017年第06期 《光子学报》
基于数码相机的膜厚测量实验第31-33页
关键词: 大学教育  物理实验教学  数码相机  膜厚测量  干涉显微镜  
2004年第03期 《大学物理实验》
在柔性基底上沉积金属薄膜厚度的在线测量第86-88页
关键词: 柔性基底  卷绕真空镀膜  在线方阻  膜厚测量  
磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响第66-68页
关键词: 磁控溅射  膜厚均匀性  膜厚测量  
2007年第03期 《航空材料学报》
用迈克尔逊干涉仪测量全息干板膜厚度第250-253页
关键词: 迈克尔逊干涉仪  白光干涉  全息干板膜  膜厚测量  
2006年第03期 《应用光学》
不透明薄膜厚度的光干涉法测量以及台阶的影响第8-12页
关键词: 膜厚测量  光干涉法  数字化测量  台阶制备  
2007年第05期 《真空》
红外测量技术在MOCVD中的应用第689-691页
关键词: 红外辐射  温度测量  膜厚测量  在位实时测量  金属有机物化学气相淀积  
2007年第08期 《半导体技术》
厚膜电阻制造技术研究第52-56页
关键词: 厚膜混合集成电路  厚膜电阻印刷  膜厚测量  
2016年第05期 《新技术新工艺》
应用白光共焦光谱测量金属薄膜厚度第17-22页
关键词: 白光共焦光谱  金属薄膜  膜厚测量  惯性约束聚变  
2011年第01期 《光学精密工程》
非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响第2373-2379页
关键词: 椭偏测量  干涉式椭偏仪  非偏振分光镜  膜厚测量  退偏效应  方位角误差  
2012年第11期 《光学精密工程》
纳米薄膜的制备技术及其膜厚表征方法进展第11-15页
关键词: 纳米薄膜  薄膜制备  膜厚测量  
2012年第03期 《现代仪器与医疗》
用模拟退火法确定MgF2薄膜折射率和厚度第858-863页
关键词: 薄膜参数测量  折射率测量  膜厚测量  模拟退火算法  mgf2  
2013年第04期 《光学精密工程》