作者：徐建 陆敏 朱丽娜 吴立敏纳米薄膜薄膜制备膜厚测量
摘要：纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法。
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