作者：陈希明; 马靖; 徐晟; 吴小国; 孙大智; 杨...多层膜结构薄膜厚度相对介电常数电极直径测量精度平行板电容非接触测量平面度测量线性拟合输出电压测量电压测量方法膜厚测量多层结构传感头空气隙膜材料成本低
摘要：提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法.该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01 μm.若采用有效电极直径Φ1 mm传感头,测量精度可达0.001 μm.通过理论分析和实验证实,该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数,不需特殊制备样件,是非接触测量,测量方法简单、成本低.因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量.
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