作者：郭春 李斌成薄膜参数测量折射率测量膜厚测量模拟退火算法mgf2
摘要：研究了确定单层MgF2薄膜的物理厚度及其在深紫外／真空紫外波段折射率的方法。首先，利用钼舟热蒸发工艺在B270基底上制备了单层MgF2薄膜。然后，依据MgF2单层膜在不同入射角下的反射光谱，采用模拟退火方法确定了MgF2薄膜在170～260nm波段的折射率和物理厚度，并与由椭圆偏振法确定的薄膜参数进行了比较。实验显示，采用模拟退火和椭圆偏振两种方法确定的MgF2薄膜厚度分别为248．5nm和249．5nIn，偏差为0．4％；而用上述两种方法在240～260nm波段确定的单层MgF2薄膜的折射率偏差均小于0．003。得到的结果证实了依据不同人射角下的反射光谱，用模拟退火方法确定MgF2薄膜厚度和折射率的可靠性。
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