作者：赵毅红; 陈荣发膜厚测量波导薄膜电磁场理论励磁电流
摘要：运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度.
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