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溅射氩气压强对AZO薄膜光电性能的影响第42-43页
关键词: azo薄膜  溅射  氩气压强  电阻率  透过率  
2011年第06期 《科技创新导报》
沉积温度和快速退火对磁控溅射法制备的AZO薄膜性能的影响第1-5页
关键词: azo薄膜  磁控溅射  衬底温度  真空退火  电学性能  
2017年第10期 《物理实验》
退火温度对Al掺杂ZnO薄膜结构和光学性质的影响第16-20页
关键词: azo薄膜  缺陷  
2018年第04期 《兰州理工大学学报》
不同沉积温度下AZO透明导电薄膜的性能研究第155-157页
关键词: 透明导电  azo薄膜  磁控溅射  沉积温度  
2017年第22期 《热加工工艺》
专利文摘第58-62页
关键词: 专利文摘  sio2薄膜  透明导电玻璃  金属薄膜  加工方法  zno薄膜  azo薄膜  hno3  
2018年第09期 《玻璃》
掺铝ZnO透明导电膜动态制备及性能研究第32-36页
关键词: azo薄膜  射频磁控溅射  动态沉积  溅射气压  
2019年第04期 《电子工业专用设备》
掺铝氧化锌（AZO）薄膜的应用及研究评述第133-141页
关键词: azo薄膜  透明导电薄膜  磁控溅射  薄膜表征  太阳能电池  
2018年第01期 《材料科学与工程学报》
共溅射法制备AZO薄膜及其光电性能的研究第233-238页
关键词: azo薄膜  共溅射  溅射功率  光电性能  
2018年第05期 《表面技术》
温度对AZO薄膜红外辐射性能的影响第1975-1979页
关键词: azo薄膜  直流磁控溅射  红外辐射性能  温度  透射光谱  
2019年第06期 《光谱学与光谱分析》
射频溅射功率对室温沉积AZO薄膜性能的影响第45-48页
关键词: azo薄膜  直流射频耦合  表面形貌  电学性能  光学性能  
2019年第01期 《真空》
直流射频耦合制备微纳结构AZO薄膜及其性能研究第64-67页
关键词: azo薄膜  表面形貌  微纳结构  靶电压  电学性能  雾度  
2018年第06期 《真空》
退火温度对溶胶-凝胶法制备的AZO薄膜性能影响的研究第5-8页
关键词: 半导体材料  azo薄膜  退火温度  
2019年第01期 《电子器件》
反应溅射法制备AZO薄膜的结构和透明导电性能第443-449页
关键词: 复合靶材  反应溅射  azo薄膜  透明导电性  禁带宽度  品质因子  
2019年第03期 《人工晶体学报》
退火温度对氢掺杂AZO薄膜热稳定性的影响第380-383页
关键词: azo薄膜  磁控溅射  退火  热稳定性  
2018年第05期 《真空科学与技术学报》
AZO透明导电薄膜的制备技术、光电特性及应用第51-54页
关键词: azo薄膜  光电特性  禁带宽度  
2004年第06期 《真空电子技术》
溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜及其光电性能研究第20-21页
关键词: azo薄膜  溶胶凝胶  光电性能  
2005年第01期 《真空电子技术》
AZO薄膜绒面制备方法研究进展第1-3页
关键词: azo薄膜  绒面  刻蚀  太阳电池  
2011年第02期 《激光》
绒面AZO最新研究进展及应用第1-4页
关键词: 透明导电膜  绒面结构  azo薄膜  太阳能电池  
2012年第01期 《激光》
脉冲激光沉积AZO薄膜及其光学性质研究第79-80页
关键词: 脉冲激光沉积  azo薄膜  交替打靶  xrd  
2008年第05期 《激光》
掺杂浓度对AZO薄膜结构和光电性能的影响第676-678页
关键词: azo薄膜  光电性能  
2005年第06期 《压电与声光》
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