专利文摘sio2薄膜透明导电玻璃金属薄膜加工方法zno薄膜azo薄膜hno3
摘要：一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法 摘要：本发明涉及一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法，包括以下步骤：在硅片上制备SiO2薄膜作为牺牲层；在牺牲层上制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜作为遮盖层；在遮盖层上滴加稀HNO3，腐蚀遮盖层得到颗粒间的裂缝；再滴加HF腐蚀颗粒间裂缝下面的SiO2薄膜；溅射生长出Ag金属薄膜；HCl浸泡去除遮盖层GZO薄膜；HF浸泡去除SiO2薄膜，得到金属Ag纳米网络；转移至涂有EVA光学胶的PET柔性透明基底，得到金属纳米网络透明导电玻璃。
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