作者：张程; 代明江; 石倩; 代建清; 侯惠君; 林...透明导电azo薄膜磁控溅射沉积温度
摘要：以纯度为99.99%氧化锌铝（w（Zn O）=98.00wt%,w（Al2O3）=2.00wt%）陶瓷靶为原料,利用直流磁控溅射法在普通白玻璃衬底上制备铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、四点探针测试仪和紫外可见光分光光度计等对薄膜的形貌、结构及光电性能进行分析。结果表明：薄膜具有c轴择优取向。随沉积温度升高,薄膜的结晶度先提高后下降,晶粒尺寸逐渐减小。当沉积温度为200℃时,可获得晶粒尺寸为18.30 nm、电阻率为4.1×10-3Ω·cm、透过率为93.80%的AZO透明导电薄膜。
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