关键词: 高冲击  微悬臂梁  动态响应  尺寸效应  应变梯度理论  

2016年第06期 《探测与控制学报》

关键词: epw  微悬臂梁  凸角削角补偿  

2005年第05期 《黑龙江大学自然科学学报》

关键词: 微悬臂梁  阶梯结构  多晶硅  压电驱动  弯曲位移  固有频率  

2018年第12期 《仪表技术与传感器》

关键词: 纳米化  薄膜光学  摩擦特性  nanotubes  隔振器  吉林大学学报  溶胶一凝胶  场发射  微悬臂梁  半导体光电  

2005年第11期 《电子科技文摘》

关键词: 微悬臂梁  动力学  液桥张力  jkr理论  颈缩现象  

2004年第02期 《哈尔滨工程大学学报》

关键词: 原子力显微镜  微悬臂梁  品质因数  表面形貌  正反馈环路  锁相环  

2004年第01期 《西安工业大学学报》

关键词: 微悬臂梁  矩形微通道  微粒子  集中载荷  弯曲挠度  

2019年第10期 《微纳电子技术》

关键词: 微悬臂梁  风力  光杠杆  labview  

2018年第07期 《传感器与微系统》

关键词: 微悬臂梁  法向  横向  弹性常数  标定  

2018年第06期 《传感技术学报》

关键词: 原子力显微镜  微悬臂梁  横向力  探针  相互作用力  纳米尺度  表面性质  加工制造  定量研究  研究领域  标定方法  反射原理  力学性能  度理论  

2005年第01期 《测试技术学报》

关键词: 声激励  光学相干层析  微悬臂梁  误差校正  非接触振动检测  

2018年第12期 《仪器仪表学报》

关键词: 微悬臂梁  质量传感  表面应力  

2018年第02期 《东北大学学报·自然科学版》

关键词: 微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  

2005年第03期 《机械强度》

关键词: 微悬臂梁  cnts吸光层  光热传感器  光热光谱  

2017年第01期 《激光》

关键词: 粘度  微悬臂梁  谐振频率  原子力显微镜  

2005年第05期 《压电与声光》

关键词: 微悬臂梁  非制冷红外探测器  光机械  氮化硅  热膨胀系数  偏振光  

2004年第06期 《红外》

关键词: 非制冷红外探测器  微悬臂梁  微电容  

2005年第05期 《红外技术》

关键词: 电热激励  微悬臂梁  谐振器件  

2005年第02期 《半导体光电》

关键词: 电子技术  mems  微悬臂梁  可靠性预测  威布尔分布  

2005年第06期 《电子元件与材料》

关键词: mems  微悬臂梁  化学传感器  生物传感器  

2004年第05期 《微电子学》