作者：夏贝贝; 揣荣岩; 张贺微悬臂梁阶梯结构多晶硅压电驱动弯曲位移固有频率
摘要：为了实现微悬臂梁传感器的自驱动自感知功能,设计了嵌套式阶梯结构微悬臂梁传感器。采用有限元分析的方法对其微梁的自由端弯曲位移和固有频率进行了仿真,研究了阶梯结构对微悬臂梁传感器性能的改善,确定了微悬臂梁传感器的阶梯结构参数。结果表明,经优化设计后的微梁传感器,微悬臂梁自由端弯曲位移可达566nm,提高了2倍;固有频率可达385kHz,提高了1.45倍。阶梯式微梁的成功设计为传感器的集成与小型化奠定了基础。
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