作者：房轩; 李艳宁; 王艳霞; 唐洁; 傅星; 胡小...原子力显微镜微悬臂梁品质因数表面形貌正反馈环路锁相环
摘要：提出了一种能够把在液体环境中工作的原子力显微镜(Atomic Force Microscopy)的微悬臂梁的低品质因数提高二个数量级的方法.这是通过一个正反馈环路实现的,同时采用一个锁相环(Phase Lock Loop)来监控微悬臂梁谐振频率并产生一个驱动信号.使用可变移相器和可变增益放大器对微悬臂梁振荡信号进行调节,调节后的信号也加入到驱动信号中.从而提高了原子力显微镜的动态力灵敏度和分辨力.
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