作者：刘海涛; 陈永平; 梁平治微悬臂梁非制冷红外探测器光机械氮化硅热膨胀系数偏振光
摘要：本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造.由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲.用偏振光对弯曲程度进行检测,在CCD上呈现偏振光的干涉图案.它完全消除了由电路引入的噪声.目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右,但其理论值仅为几mK.
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