关键词: 微电子机械系统  微系统技术  微传感器  

2008年第06期 《科学》

关键词: 液压油污染物  微传感器  电感检测  电容检测  微流控技术  

2019年第06期 《仪器仪表学报》

关键词: 加利福尼亚理工学院  激光探测  微传感器  设备使用  超灵敏  加速计  罗切斯特大学  加州理工学院  

2013年第01期 《集成电路通讯》

关键词: 微小型无人机  航姿测量  微传感器  四元数  数据融合  

2012年第06期 《军械工程学院学报》

关键词: mems传感器  加速度计  陀螺仪  纳米技术  微机构  微传感器  

2016年第35期 《中国高新科技》

关键词: 正畸保持  依从性  微传感器  

2013年第02期 《中国口腔医学继续教育》

关键词: 通用工艺  微加工技术  刻蚀技术  湿法刻蚀  石英晶体  微执行器  微传感器  微机电系统  加速度传感器  深槽  

2005年第09期 《电子科技文摘》

关键词: 发展新趋势  mems技术  推进系统  卫星编队飞行  mems器件  加工技术  进给系统  微传感器  控制电路  装配技术  相关研究  推进技术  微小卫星  推进剂  集成式  成本低  体积小  集成度  执行器  微连接  形成功  稳定性  

2005年第06期 《中国航天》

关键词: 加速度  微传感器  电容式  mems工艺  有限元分析  形变  

2004年第03期 《莆田学院学报》

关键词: vb  智能检测系统  质量过程控制  硬件  微传感器  装配过程  光栅数显表  平面度  精密零件  

2005年第01期 《工具技术》

关键词: 化学气体  含量  处理  居民  小米  危险区  灾区  次冲击  微传感器  泄漏  

2004年第07期 《知识就是力量》

关键词: 自然降解  微传感器  高灵敏度  生物相容性  斯坦福大学  压力传感器  感应性能  退伍军人  

2018年第05期 《传感器世界》

关键词: 微传感器  网状  响应时间  横向灵敏度  封装  功耗  过滤器  微机械  金属网  

2004年第12期 《传感器世界》

关键词: 微弱信号检测  新型传感器  微传感器  智能传感器  网络化传感器  

2005年第05期 《传感器世界》

关键词: 包装印刷  领域  材料  成材  开发研究  应用范围  传感技术  微传感器  传感原理  纳米传感器  

2005年第01期 《中国包装》

关键词: 微传感器  传感器系统  可靠性水平  空间范围  微型系统  自动化  智能化  

2019年第04期 《科技纵览》

关键词: 现场可编程门阵列  电压采集  微传感器  

2019年第05期 《传感器与微系统》

关键词: 微传感器  聚合物碳黑混合物  气敏传感器  

2005年第03期 《传感技术学报》

关键词: 模式识别  信息处理  机器学习  微传感器  传感器信息融合  数学研究方法  mems  统计学习  

2019年第11期 《中国科技成果》

关键词: 微传感器  读出系统  集成  

2005年第01期 《电子工业专用设备》