作者：郑志霞; 冯勇建加速度微传感器电容式mems工艺有限元分析形变
摘要：介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析.利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性.设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器.
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