作者：尤政; 林杨; 张高飞发展新趋势mems技术推进系统卫星编队飞行mems器件加工技术进给系统微传感器控制电路装配技术相关研究推进技术微小卫星推进剂集成式成本低体积小集成度执行器微连接形成功稳定性
摘要：纳皮型卫星和卫星编队飞行的发展,对星上推进系统提出了更高的要求,基于微机电系统(MEMS)技术的微型推进系统以此为契机迅速发展起来.基于MEMS技术的微推进除了具有成本低、体积小、质量轻等优点之外,还具有很高的集成度.它利用MEMS加工技术,能将推进系统的推进剂、贮箱、喷嘴、阀门、推进剂进给系统,以及某些微传感器和执行器,甚至控制电路都集成在一个或几个硅片上,再通过键合等微连接装配技术将这些MEMS器件组装在一起,形成功能完善、稳定性高的集成微推进系统.目前国内外对集成式微推进的相关研究大部分都处于设计和试验阶段.随着MEMS技术的不断发展和进步,集成式微推进技术将日趋成熟,并最终广泛应用于微小卫星领域.
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