关键词: 化学机械抛光设备  技术节点  集成电路  

2019年第05期 《电子工业专用设备》

关键词: 应用材料公司  芯片制造  离子注入技术  离子注入系统  生产  nt系统  技术节点  sta  

2012年第03期 《集成电路通讯》

关键词: 机械研磨  新型化学  罗门哈斯  电子材料  技术事业  化学机械  研磨技术  技术节点  平坦化  选择比  

2005年第05期 《半导体信息》

关键词: finfet  mosfet  技术选择  纳米线  技术节点  退化机制  晶体管  纳米片  

2018年第06期 《半导体信息》

关键词: 芯片巨头  欧洲技术  意法半导体  技术开发项目  英飞凌  纳米技术  实验室网络  效方  技术节点  研究工作  

2004年第03期 《半导体信息》

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2005年第04期 《工业和信息化教育》

关键词: 晶体管特性  检测服务  半导体业  系统分析  技术节点  cmos  厂商  公司  

2005年第12期 《工业和信息化教育》

关键词: 清洗系统  第三季度  fsi  动力学  技术节点  过冷  国际  订单  突出  

2005年第08期 《工业和信息化教育》

关键词: 检测系统  检测平台  超宽带  全光谱  800系列  技术节点  深紫外  突破性  成品率  

2005年第09期 《工业和信息化教育》

关键词: 半导体工艺  技术节点  芯片性能  跳跃式发展  半导体技术  制作工艺  

2005年第B10期 《个人电脑》

关键词: 电子  大专  科技  溅射靶材  高纯金属  相关产品  技术节点  检测平台  

2018年第07期 《中国集成电路》

关键词: 检测系统  制造领域  缺陷检测  芯片制造  硅晶圆  技术节点  工艺监控  检测灵敏度  

2018年第08期 《今日电子》

关键词: 检测系统  缺陷检测  电子元件  专用设备  技术节点  制造领域  芯片制造  

2018年第05期 《电子工业专用设备》

关键词: 铜互连  半导体制造工艺  互连材料  信号延时  芯片尺寸  传统工艺  技术节点  电路部分  介电材料  介电常数  时钟频率  金属  电阻率  选用  

2005年第05期 《微纳电子技术》

关键词: 下一代光刻  极远紫外光刻  电子束光刻  分辨率增强  浸没法光刻  技术节点  

2004年第04期 《中国集成电路》

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2017年第10期 《中国集成电路》

关键词: 技术节点  薄膜工艺  铂  镍  集成电路  zeta  首席执行官  金属硅化物  fsi  有限公司  剥离工艺  系统开发  行业标准  制造商  don  董事长  自对准  喷雾式  试验线  化学品  

2005年第05期 《中国集成电路》

关键词: fsi  项目  推出  mercury  有限公司  附加价值  生产能力  运营成本  技术节点  极大的  喷雾式  客户化  设备  投资  产出  资本  

2005年第02期 《中国集成电路》

关键词: fsi  薄膜工艺  推出  上海  国际  铂  镍  集成电路  zeta  金属硅化物  有限公司  技术节点  去除工艺  系统开发  制造商  喷雾式  试验线  化学品  

2005年第04期 《电子与封装》

关键词: 化学机械平坦化  研磨液  推出  cmp技术  半导体产业  电子材料  研磨技术  技术节点  整合方案  

2005年第08期 《电子与封装》