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期刊收录
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离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用第902-907页
关键词: 离子束溅射  al2o3薄膜  光学窗口  环境适应性  
2019年第10期 《红外技术》
N型太阳能电池Al2O3薄膜钝化性能研究第28-29页
关键词: al2o3薄膜  表面复合  n型太阳能电池  钝化性能  发电效率  
2016年第34期 《中国高新科技》
氩氧比例对Al2O3薄膜结构及性能的影响第33-36页
关键词: 无机非金属材料  al2o3薄膜  直流反应磁控溅射  氩氧比  介电性能  
2009年第03期 《有色金属工程》
利用原位压痕技术表征原子层沉积Al2O3超薄纳米薄膜的力学性能第3026-3030页
关键词: 原子层沉积  al2o3薄膜  原位纳米压痕  力学性能  弹性模量  
2019年第18期 《材料导报》
Al2O3超疏水薄膜的制备及其耐腐蚀性研究第238-244页
关键词: 疏水性  溶胶凝胶法  al2o3薄膜  耐腐蚀  低粘附  铝  
2017年第12期 《表面技术》
以硝酸铝为前驱体制备Al2O3薄膜及其表征第56-60页
关键词: 溶胶凝胶法  al2o3薄膜  硝酸铝  甲基纤维素  表征  
2017年第05期 《膜科学与技术》
柔性基体表面原子层沉积Al2O3薄膜研究进展第36-42页
关键词: 柔性基体  ald  al2o3薄膜  
2017年第06期 《真空》
沉积功率和退火工艺对PE-ALD氧化铝薄膜的影响第610-615页
关键词: al2o3薄膜  沉积功率  退火工艺  
2018年第08期 《半导体技术》
FeAl/Al2O3阻氚涂层表面Al2O3薄膜形成机制与低温制备技术的研究进展第1-7页
关键词: 氧化行为  al2o3薄膜  低温制备  
2019年第06期 《机械工程材料》
阳极氧化制备硅基氧化铝薄膜MIM电容器第493-498页
关键词: al2o3薄膜  阳极氧化  储能电容  
2019年第06期 《微纳电子技术》
掺铒Al2O3薄膜的性能与制备第11-14页
关键词: 掺铒  al2o3薄膜  光致发光  中频  磁控溅射  
2004年第06期 《真空电子技术》
掺Er—Al2O3薄膜发光特性的研究第29-32页
关键词: 离子束辅助沉积  al2o3薄膜  掺杂  pl谱  光透射谱  发光特性  
中频溅射技术沉积镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光第1162-1165页
关键词: 泵浦功率  中频  光致发光光谱  al2o3薄膜  硅片  溅射法  退火温度  孪生  氧化铝薄膜  沉积  
2004年第10期 《光电子激光》
衬底温度对Al2O3薄膜微观组织和电阻率的影响第1-3页
关键词: al2o3薄膜  基片温度  反应溅射  电阻率  
2005年第06期 《现代冶金》
箔式锰铜传感器的新进展第1957-1958页
关键词: 箔式锰铜传感器  al2o3薄膜  动态高压测试  
2005年第12期 《功能材料》
利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术研究第474-476页
关键词: 无机盐先驱物  陶瓷粉体  
2004年第04期 《功能材料》
硅片表面原子层沉积Al2O3薄膜及其长期腐蚀行为第24-27页
关键词: 原子层沉积  al2o3薄膜  长期浸泡  耐腐蚀性能  
2017年第12期 《材料保护》
Ni-Al2O3太阳光热转换吸收薄膜的制备第358-362页
关键词: 铝基底表面处理  烧结温度  膜厚度  
2010年第03期 《应用化学》
Yb掺杂对Er/Yb共掺Al2O3薄膜光致荧光性能的影响第284-288页
关键词: 薄膜  al2o3薄膜  光致荧光  
2005年第02期 《光学学报》