作者：黄开玉; 李国卿; 柳翠; 高景生; 宋琦; 王...掺铒al2o3薄膜光致发光中频磁控溅射
摘要：简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.
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《真空电子技术》（CN：11-2485/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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