作者：崔红玲; 杨邦朝; 杜晓松; 周鸿仁; 滕林箔式锰铜传感器al2o3薄膜动态高压测试
摘要：箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.
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