作者：杨和梅; 姚正军al2o3薄膜基片温度反应溅射电阻率
摘要：为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜.把在室温、100℃,250℃和400℃下衬底的样品,用SEM,EDS,XRD观察分析薄膜的微观组织,用绝缘电阻仪测量薄膜电阻.结果表明:衬底温度升高,薄膜表面晶粒度增大;薄膜电阻率随其温度升高而下降.
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