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2005年第04期 《工业和信息化教育》

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2005年第07期 《工业和信息化教育》

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2004年第05A期 《电子产品世界》

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2004年第02B期 《电子产品世界》

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2005年第05期 《中国集成电路》

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2005年第07期 《电子工业专用设备》

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2005年第09期 《集成电路应用》

关键词: 单晶圆  湿式处理  旋转处理  韩国  sez集团  

2004年第05期 《集成电路应用》

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2004年第04期 《集成电路应用》

关键词: 光阻  单晶圆  化学试剂  sez集团  专有技术  制程  残留物  

2006年第08期 《中国集成电路》

关键词: 产品特性  湿式处理  单晶圆  清洗平台  sez集团  工艺过程  

2006年第12期 《电子工业专用设备》