电子工业专用设备杂志部级期刊

电子工业专用设备 2018年第02期杂志 文档列表

电子工业专用设备杂志趋势与展望

纳米集成电路制造中的CMP第1-5页

关键词: 化学机械抛光；  纳米集成电路制造；  化学机械抛光核心技术；  

光伏产业市场分析第6-8页

关键词: 光伏电池；  市场需求；  市场风险；  

电子工艺设备技术性能指标提出方法及内容研究第9-12页

关键词: 电子工艺设备；  技术性能指标；  提出方法及内容；  

电子工业专用设备杂志先进封装技术与设备

基于机器视觉的裸片表面缺陷在线检测研究第13-16页

关键词: 晶圆划片；  裸片表面缺陷检测；  表面特征；  线性判别分析；  支持向量机；  

基于动态补偿原理的超声波发生器研究第17-22页

关键词: 超声波发生器；  超声键合；  动态补偿；  

电子工业专用设备杂志半导体制造工艺与设备

锗单晶多线切割工艺研究第23-26页

关键词: 翘曲度；  锗片；  热量控制；  环境温度；  

关于单晶硅片的清洗检验工艺分析与研究第27-33页

关键词: 单晶硅；  清洗；  检验；  工艺；  

碳化硅材料磨削技术基础研究第34-35页

关键词: 碳化硅材料；  磨削技术；  油石在线修整；  

锗晶片表面清洗研究进展第36-39页

关键词: 锗晶片；  表面清洗；  表面氧化层；  

电子工业专用设备杂志设备维护与维修

步进投影光刻机及其常见故障分析第40-45页

关键词: 曝光；  预对准；  调平调焦；  同轴对准；  

电子工业专用设备杂志电子专用设备研究

晶圆传输过程中自动扫描算法的实现第46-49页

关键词: 晶圆传输；  自动扫描；  卡槽；  双片；  

扩散退火一体化上下料机构设计第50-52页

关键词: 石英舟；  扩散退火一体化；  上下料；  

印刷机结构分析与研究第53-57页

关键词: 印刷压力；  气缸组；  印刷刮条；  夹持设计；  涂墨刮板结构设计；  

机器视觉在热切机中的应用第58-61页

关键词: 机器视觉；  热切机；  定位；  

甩干机隔振系统设计及实验研究第62-66页

关键词: 甩干机；  隔振；  橡胶减振器；