电子工业专用设备杂志部级期刊

电子工业专用设备 2005年第08期杂志 文档列表

电子工业专用设备杂志趋势与展望

无掩模光刻技术的前景第1-3页

关键词: 无掩模光刻；  电子束光刻；  掩模版；  

环氧塑封料的发展现状与未来第4-6页

关键词: 环氧塑封料；  发展；  现状；  未来；  

芯片商大陆投资政策放宽联电投资合法化第6-6页

关键词: 合法化；  投资政策；  大陆；  芯片；  半导体业；  制造商；  台湾；  数字；  晶圆；  

电子工业专用设备杂志IC制造与设备

新型硅芯晶体炉的开发与设计第7-9页

关键词: 硅芯炉；  工艺特点；  机械结构；  电气控制；  

电加热推板窑温度稳定性研究第10-12页

关键词: 温度稳定性；  推板窑；  滞后；  自适应控制；  

90～65nm清洗新技术第13-15页

关键词: nm节点技术；  超凝态过冷动力学清洗；  微粗糙度；  载流子迁移率；  

多段可编程双脉冲电镀电源第16-18页

关键词: 多段；  双脉冲；  电镀电源；  原理；  

扰动法非线性晶体生长过程数值模拟研究第19-24页

关键词: 晶体生长；  扰动法；  数值模拟；  

90nm pMOSFET脱耦等离子体制备氮氧化硅的负偏压温度失稳性第25-28页

关键词: pmosfet；  等离子体氮化；  负偏压温度；  氮氧化硅；  失稳性；  制备；  脱耦；  氧化层厚度；  mosfet器件；  

使用氩离子击穿PVD阻挡层工艺提高90nm双大马真士革互联的参变量和可靠性第29-36页

关键词: 应力转移；  阻挡层击穿；  残留物去除；  反应性预清洗；  

电子工业专用设备杂志IC芯片测试

基于Quartet测试系统的高速DAC芯片测试第37-42页

关键词: 高速数模转换器芯片；  数模混合信号芯片测试；  

φ300mm内存制造的新芯片检查策略第43-47页

关键词: 缺陷；  检查；  策略；  

着眼未来的LCD驱动芯片测试技术第48-51页

关键词: rsds；  mdgt；  tft；  source；  driver；  

电子工业专用设备杂志封装与测试

带式送料器检测仪视觉系统研制第52-54页

关键词: 片式电子元件；  带式送料器；  机器视觉；  检测仪；  

电子工业专用设备杂志设备改造与维护

嵌入式系统在异步电动机故障诊断中的应用第55-58页

关键词: 嵌入式系统；  图形系统；  故障诊断；