关键词: 微光机电系统  微镜  变形能  等效弹性系数  谐振频率  瞬态响应  

2008年第03期 《湖南理工学院学报·自然科学版》

关键词: led光源  最大功率  世界  中国  研发  华中科技大学  微光机电系统  自主知识产权  

2007年第02期 《智慧工厂》

关键词: 微光机电系统  周期可变光栅  形状记忆合金  

2005年第01期 《微细加工技术》

关键词: 微电子  微光学元件  moems  微光机电系统  微机械  自对准  光开关  发展  降低成本  展望  

2004年第12期 《中国航天》

关键词: k9玻璃  湿法刻蚀  微光机电系统  抗腐蚀  掩膜  moems器件  

2004年第02期 《光学仪器》

关键词: 微光机电系统  可调谐滤波器  静电力结构耦合  自适应算法  平均效应  数值分析  

2004年第02期 《光学仪器》

关键词: moems  微光机电系统  光学器件  微机械加工技术  性能优势  光学系统  发展  结合应用  国内外  

2004年第10期 《传感器世界》

关键词: 白光干涉法  动态测量  

2018年第03期 《计测技术》

关键词: icp刻蚀  键合  电镀  

2019年第05期 《传感技术学报》

关键词: 光开关  肖特基二极管  微光机电系统  光电子技术  开关效应  现代光学  滤波器  实验结果  恢复时间  双列直插式  

2005年第01期 《中国光学》

关键词: 光学仪器  研究现状  微光机电系统  反射式  光学技术  精密仪器及机械  生物芯片扫描仪  清华大学  视觉读数  展望  

2004年第05期 《中国光学》

关键词: 微光机电系统  引信  保险机构  静电微驱动器  光路耦合  

2019年第02期 《光学精密工程》

关键词: 微硅片狭缝  微小型光纤光谱仪  微光机电系统  分辨率  波长标定公式  

2005年第06期 《光学精密工程》

关键词: 光强差分测量  加速度计  

2018年第05期 《电子器件》

关键词: 光谱学  微型光谱仪  微光机电系统  近红外波段  

2018年第10期 《激光与光电子学进展》

关键词: 光通信  光开关  微光机电系统  

2005年第04期 《微纳电子技术》

关键词: 光通信  垂直梳齿驱动  微镜  自对准技术  

2018年第05期 《微纳电子技术》

关键词: 反射式微光机电系统  moems  微机电系统  微光机电系统  研究现状  

2004年第02期 《光学技术》

关键词: 光电技术  微光机电系统  数值模拟  干涉  

2005年第04期 《光学技术》

关键词: 微光机电系统  静电微反射镜  静电驱动器  角锥棱镜  衍射  

2006年第06期 《激光》