作者：张晓磊; 徐永青; 杜妙璇光通信垂直梳齿驱动微镜自对准技术
摘要：针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统（MOEMS）芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应离子刻蚀（DRIE）工艺,可成功实现固定梳齿和可动梳齿的精确定位。基于该技术制备出的静电梳齿驱动光可调衰减器（VOA）芯片和光开关（OSW）芯片具有良好的光学性能,两款芯片的微镜可分别实现静电驱动电压6和55 V下0.5°及3.0°的角度偏转。结果表明,应用该自对准工艺,使易于加工、低成本且可批量化的芯片制备成为可能。
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