反射式微光机电系统（MOEMS）的研究现状与展望

作者：尤政; 王子旸; 任大海反射式微光机电系统moems微机电系统微光机电系统研究现状

摘要：反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分，近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类，列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺；阐述了反射式MOEMS的应用领域；展望了发展前景。

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