关键词: 热丝化学气相沉积  金刚石薄膜  表面预处理  基片温度  沉积气压  

2016年第03期 《广州化工》

关键词: 薄膜结构  光致发光  基片温度  发光学报  复合涂料  生长机理  超荧光  微结构特征  半导体光电  液晶高分子  

2005年第05期 《电子科技文摘》

关键词: 离子束溅射  基片温度  温度控制  薄膜生长  

2004年第02期 《光学仪器》

关键词: 基片温度  磁性能  双离子束溅射法  x射线衍射仪  绝缘材料  

2004年第01期 《电工材料》

关键词: 薄膜性能  工艺参数  真空镀膜工艺  薄膜光学  基片温度  真空镀膜机  反应蒸镀  真空度  沉积速率  离子轰  

2011年第05期 《国防制造技术》

关键词: 五氧化二钒  真空蒸发  退火  vox薄膜  基片温度  电阻温度系数  

2004年第06期 《压电与声光》

关键词: 直流磁控溅射工艺  zno薄膜  薄膜结构  基片温度  c轴取向  晶格结构  退火  氩氧比  结晶质量  

2004年第01期 《人工晶体学报》

关键词: al2o3薄膜  基片温度  反应溅射  电阻率  

2005年第06期 《现代冶金》

关键词: 氧化钒薄膜  基片温度  真空蒸发法  x射线衍射  绝对值  室温  表面形貌  制备  片材  v2o5  

2005年第01期 《硅酸盐通报》

关键词: licoo2  磁控溅射  基片温度  

2012年第01期 《化学研究与应用》

关键词: 基片温度  zno薄膜  光学  离子束  电学性质  晶体结构  禁带宽度  反应溅射  薄膜电阻  c轴取向  

2004年第06期 《真空科学与技术学报》

关键词: 基片温度  结构  磁性  

2005年第06期 《长春大学学报》

关键词: ni80fe20薄膜  各向异性磁电阻  基片温度  溅射气压  

2007年第08期 《物理实验》

关键词: icp  基片温度  刻蚀  刻蚀速率  

2006年第06期 《河南机电高等专科学校学报》

关键词: tio2薄膜  基片温度  原子力显微镜  表面形貌  表面性能  

2006年第03期 《材料科学与工程学报》

关键词: 射频溅射  紫外光截止镀膜玻璃  基片温度  

2006年第01期 《稀有金属材料与工程》

关键词: tcr  真空度  溅射速率  基片温度  

2007年第01期 《真空》

关键词: mocvd  tio2  基片温度  

2007年第B08期 《航空学报》

关键词: ni80fe20薄膜  基片温度  结构  各向异性磁电阻  

2007年第02期 《金属功能材料》

关键词: 反应射频磁控溅射  gdc电解质薄膜  基片温度  x射线衍射  原子力显微镜  

2006年第Z1期 《真空科学与技术学报》