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溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜第34-36页
关键词: 铝离子掺杂  c轴择优取向  光电性能  氧化锌薄膜  
2007年第04期 《表面技术》
金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究第627-629页
关键词: 自支撑金刚石膜  表面粗糙度  氧化锌薄膜  c轴择优取向  
2006年第06期 《压电与声光》
AlN薄膜体声波谐振器的制备与性能分析第4-5页
关键词: 磁控溅射  氮化铝薄膜  c轴择优取向  薄膜体声波谐振器  
2007年第01期 《压电与声光》
Mo电极上磁控反应溅射AlN薄膜第230-233页
关键词: aln薄膜  射频磁控反应溅射  c轴择优取向  mo电极  
2009年第A02期 《稀有金属材料与工程》
溶胶-凝胶法生长（002）高度择优取向的ZnO∶Al薄膜第1122-1124页
关键词: zno薄膜  c轴择优取向  光透过率  
2008年第07期 《功能材料》
中频直流磁控反应溅射法制备掺铝氧化锌薄膜的研究第566-569页
关键词: 中频直流反应磁控溅射  掺铝氧化锌薄膜  c轴择优取向  吸收边  
2008年第06期 《真空科学与技术学报》
退火过程对c轴择优取向的ZnO薄膜光学性质的影响第221-226页
关键词: 材料  溶胶凝胶法  zno薄膜  c轴择优取向  退火  
2010年第02期 《量子电子学报》
AlN压电薄膜的制备工艺第506-511页
关键词: aln薄膜  射频反应磁控溅射  c轴择优取向  
2013年第08期 《微纳电子技术》
厚度对M型钡铁氧体薄膜结构及磁性能的影响第21-24页
关键词: m型钡铁氧体薄膜  射频磁控溅射  薄膜厚度  c轴择优取向  磁性能  
2015年第06期 《磁性材料及器件》
ZnO薄膜P型掺杂的研究进展第50-55页
关键词: zno薄膜  p型掺杂  c轴择优取向  机电耦合系数  光电器件  压电常数  半导体材料  禁带宽度  
2015年第12期 《新材料产业》
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