来源：学术之家整理 2025-03-18 15:42:22
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》中文名称：《真空科学与技术杂志B:纳米技术与微电子学》，由AVS Science and Technology Society出版商出版。
1983年，《真空科学技术杂志》A和B两种期刊在原《真空科学与技术杂志》拆分后创刊。JVSTA致力于发表关于材料、薄膜和等离子体界面和表面的原创研究报告、信件和评论文章。JVSTA发布的报告在基础层面推进了对界面和表面的基本理解，并利用这种理解来推进各种技术应用的最新进展。
旨在及时、准确、全面地报道国内外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在该领域的科学研究等工作中取得的经验、科研成果、技术革新、学术动态等。
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