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压电陶瓷圆片单面研磨抛光工艺
第585-588页
关键词: 单抛晶片 双面研磨 双面抛光 化学腐蚀 水溶粘接剂
2018年第04期
《压电与声光》
双面研磨
蓝宝石衬底面形及表面粗糙度变化过程的实验研究
第8-12页
关键词: 蓝宝石 双面研磨 面形精度 粗糙度 去除量
2017年第09期
《现代制造工程》
蓝宝石衬底铜抛实验研究
第57-58页
关键词: 蓝宝石衬底 加工过程 表面质量 实验 铜 双面研磨 工艺方法 表面粗糙度
2017年第07期
《内江科技》
蓝宝石衬底
双面研磨
亚表面损伤分布研究
第2568-2572页
关键词: 蓝宝石衬底 双面研磨 亚表面损伤 划痕 化学腐蚀
2014年第19期
《中国机械工程》
陶瓷芯片
双面研磨
的实现
第55-57页
关键词: 陶瓷芯片 双面研磨 工艺参数
2007年第05期
《机械制造》
碳化硅衬底超精密加工技术
第26-29页
关键词: 多线切割 双面研磨 elid磨削 化学机械抛光 超光滑表面
2012年第07期
《现代制造工程》
蓝宝石晶体的
双面研磨
加工
第2493-2498页
关键词: 蓝宝石晶体 双面研磨 均匀性 亚表层损伤
2009年第10期
《光学精密工程》
X61 1020B2M-7PT型研磨机 X62 1020B2M-7PT型抛光机
第57-58页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第06期
《电子工业专用设备》
X61 102082M-5PT型研磨机 X62 102082M-5PT型抛光机
第59-60页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第06期
《电子工业专用设备》
X61 102082M-6PT型研磨机 X62 102082M-6PT型抛光机
第58-59页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第06期
《电子工业专用设备》
X61 102082M-7PT型研磨机 X62 102082M-7PT型抛光机
第66-67页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第07期
《电子工业专用设备》
X61 102082M-5PT型研磨机 X62 102082M-5PT型抛光机
第68-69页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第07期
《电子工业专用设备》
X61 102082M-6PT型研磨机 X62 102082M-6PT型抛光机
第67-68页
关键词: pt型 研磨机 抛光机 硬脆材料 抛光加工 双面研磨 半导体硅片 非金属
2011年第07期
《电子工业专用设备》
蓝宝石衬底
双面研磨
亚表面损伤双片式角度抛光法检测
第118-122页
关键词: 角度抛光 蓝宝石 衬底基片 双面研磨 亚表面损伤 裂纹 斜面倾角
2014年第05期
《现代制造工程》
双面精密研磨用极压研磨油的实用配比
第89-91页
关键词: 双面研磨 精密加工 极压研磨油 实用配比
2014年第05期
《现代制造工程》
钛酸钡陶瓷基片的双面研抛加工研究
第11-16页
关键词: 钛酸钡陶瓷 双面研磨 抛光 去除机理 表面粗糙度 表面形貌
2015年第01期
《金刚石与磨料磨具工程》
行星式
双面研磨
轨迹均匀性研究
第41-43页
关键词: 蓝宝石 双面研磨 研磨轨迹 轨迹均匀性 统计分析
2015年第06期
《机械研究与应用》
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