碳化硅衬底超精密加工技术

作者：袁铁军 张红蕾 张广冬多线切割双面研磨elid磨削化学机械抛光超光滑表面

摘要：通过对比不同的加工方法获得最佳工艺：切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合；磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削；抛光工艺使用化学机械抛光方法，通过粗抛提高加工效率，精抛提高表面质量，从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。

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