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双质量块微振动陀螺设计与仿真第30-33页
关键词: 微机械陀螺  双质量块  机械耦合  仿真  
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真第-页
关键词: 微机电系统  陀螺仪  双质量块  双端音叉谐振器  频率输出  
2008年第03期 《光学精密工程》