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双质量块微振动陀螺设计与仿真

作者:陈伟平 郭玉刚 陈晓亮 刘晓为微机械陀螺双质量块机械耦合仿真

摘要:设计了一种能降低模态之间的机械耦合的电容式双质量块微振动陀螺.此陀螺能精确地匹配模态频率,而且可以克服重力加速度对输出检测电容的影响.利用ANSYS对结构进行了仿真和优化,得到驱动频率为t010Hz,检测频率为1009Hz,频率匹配系数达到0.099%.利用MATLAB进行系统仿真,得到结构灵敏度为31.61IF/(rad·s^-1)机械灵敏度为59.77nm/(tad·s^-1).

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哈尔滨工业大学学报

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