扩散阻挡层论文

磁控溅射偏压对Zr-Si—N扩散阻挡层组织结构的影响第441-444页

关键词: 扩散阻挡层组织结构磁控溅射偏压集成电路

2004年第03期《中国有色金属学报》

AlCrTaTiZrMo高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备与表征第125-129页

关键词: 高熵合金磁控溅射扩散阻挡层 cu互连退火薄膜

2019年第06期《表面技术》

SiC纤维增强Ni-Cr-Al合金复合材料先驱丝的制备第3550-3555页

关键词: 磁控溅射 sic纤维复合材料扩散阻挡层

2017年第11期《稀有金属材料与工程》

Zr-Si-N扩散阻挡层及其热稳定性的研究第459-462页

关键词: 扩散阻挡层热稳定性

2005年第03期《稀有金属材料与工程》

N5基体与NiCrAlY粘结层界面元素互扩散行为研究第197-204页

关键词: 热障涂层界面互扩散扩散阻挡层

2019年第01期《稀有金属材料与工程》

TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能第9-14页

关键词: 材料表面与界面原子层沉积扩散阻挡层退火 tan薄膜

2019年第01期《材料研究学报》

不同氮氩比制备的W—Si—N薄膜的阻挡特性研究第554-558页

关键词: 铜互连扩散阻挡层非晶扩散阻挡层三元阻挡层

2005年第04期《固体电子学研究与进展》

铜与硅之间W／Mo-N薄膜的扩散阻挡层性能第197-201页

关键词: 扩散阻挡层溅射热稳定性

2005年第02期《功能材料与器件学报》

集成电路用大尺寸高纯钽靶材的制备工艺进展第24-28页

关键词: 制备工艺钽溅射靶材大尺寸扩散阻挡层

2018年第02期《集成电路应用》

电弧离子镀沉积Al（Cr）-O-N扩散阻挡层的研究第83-87页

关键词: 扩散阻挡层电弧离子镀

2004年第01期《金属学报》

增强车用铝铸件应用的两种新型内部涂层第28-28页

关键词: 涂层铝铸件应用车用金属污染保温工艺先进材料扩散阻挡层

2017年第02期《铝加工》

扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征第125-129页

关键词: 扩散阻挡层 wti 真空热压相组成微观结构

2016年第B12期《功能材料》

扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征第125-129页

关键词: 扩散阻挡层 wti 真空热压相组成微观结构

2016年第S2期《功能材料》

分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展（二）：表征手段第9027-9030页

关键词: 分子纳米层扩散阻挡层粘接层铜固定化

2016年第09期《功能材料》

分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展（一）：分子纳米层第8068-8073页

关键词: 分子纳米层扩散阻挡层粘接层铜固定化

2016年第08期《功能材料》

Mo（Si,Al）2高温抗氧化涂层的形貌与结构研究第50-53页

关键词: 铌合金高温抗氧化涂层氧化膜扩散阻挡层

2006年第03期《兵器材料科学与工程》

集成电路Cu金属化中的扩散阻挡层第17-20页

关键词: 扩散阻挡层 cu金属化热稳定性薄膜

2007年第05期《材料导报》

磁控溅射ZrSiN涂层对钛瓷结合强度的影响第593-595页

关键词: 扩散阻挡层结合强度钛瓷

2006年第04期《稀有金属材料与工程》

使用荧光光谱分析法（XRF）进行RoHS验证第41-43页

关键词: 光谱分析法荧光扩散阻挡层成分测量 xrf法无铅化一致性

2006年第03期《今日电子》

W／Ti合金靶材及其制备技术第95-99页

关键词: 溅射靶材扩散阻挡层热压

2006年第01期《稀有金属》