作者：杨建生光谱分析法荧光扩散阻挡层成分测量xrf法无铅化一致性
摘要：随着欧盟RoHS最后期限的临近，很多公司都开始采用无铅化工艺，但要确保工艺的一致性，有效的检测方法是必不可缺的，荧光光谱分析法（XRF）就是其中之一。许多晶圆制造厂已开始用XRF法在薄镀层上进行光危害性成分测量，而且还用它探测扩散阻挡层裂口。
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