关键词: 有限元  反应室  流场  

2019年第06期 《电子工业专用设备》

关键词: 非故意掺杂gan  si衬底  金属有机物化学气相沉积  高电阻率  线性位错密度  

2011年第31期 《科技创新导报》

关键词: 激光器  激光光学  高速调制垂直腔面发射激光器列阵  金属有机物化学气相沉积  外延结构  芯片工艺  静态和动态特性  

2018年第05期 《光学学报》

关键词: si  ingan  黄光  led  金属有机物化学气相沉积  

2019年第16期 《物理学报》

关键词: 铱  金属有机物化学气相沉积  先驱体  基片  

2005年第01期 《稀有金属材料与工程》

关键词: 红外测温  金属有机物化学气相沉积  在线监测  光学设计  

2018年第04期 《应用光学》

关键词: si衬底gan  外延生长  金属有机物化学气相沉积  应力调控  

2018年第04期 《电子工业专用设备》

关键词: si  gan  algan插入层  

2018年第05期 《半导体技术》

关键词: zno薄膜  薄膜太阳电池  mocvd  金属有机物化学气相沉积  备用  生长技术  二乙基锌  低电阻率  光电特性  衬底温度  制备条件  方块电阻  h2o  透过率  min  mol  掺杂  流量  500  膜面积  气体  

2005年第05期 《光电子激光》

关键词: gan  

2005年第02期 《稀有金属》

关键词: 叠层  金属有机物化学气相沉积  太阳电池  低压  光伏  性能  计算机模拟  光电转换效率  改善  取代  

2004年第11期 《物理学报》

关键词: 缓冲层  半导体自组装结构  表面能  金属有机物化学气相沉积  

2005年第04期 《物理学报》

关键词: 金属有机物化学气相沉积  氮化镓  热处理  同质外延  

2018年第07期 《物理学报》

关键词: 金属有机物化学气相沉积  光催化  二氧化钛  难降解废水  

2005年第01期 《高校化学工程学报》

关键词: 测量  红外测温  金属有机物化学气相沉积  gan  外延  比较研究  

2017年第11期 《激光与光电子学进展》

关键词: 金属有机物化学气相沉积  inalgan  异质结  迁移率  

2017年第04期 《固体电子学研究与进展》

关键词: 成核层  磁控溅射  

2017年第09期 《半导体技术》

关键词: algan  紫外发光二极管  分布式布拉格反射镜  金属有机物化学气相沉积  垂直结构  

2017年第06期 《发光学报》

关键词: 金属有机物化学气相沉积  同质外延gan  插入层  生长模式  

2017年第10期 《物理学报》

关键词: 光学性质  金属有机物化学气相沉积  锰掺杂氮化镓  锰价态  

2016年第22期 《中国科技论文》