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硅微加速度计
测控线路设计及参数调整方法研究
第41-42页
关键词: 硅微加速度计 测控线路 参数调整 闭环系统校正 灵敏度 mems
2004年第09期
《仪表技术与传感器》
一种隧道式
硅微加速度计
隧道电流处理电路的设计
第22-25页
关键词: 硅微加速度计 隧道电流 反馈放大电路
2004年第Z3期
《测试技术学报》
悬臂梁式
硅微加速度计
的研制
第17-20页
关键词: 电子技术 mems 硅微加速度计 多芯片组装
2005年第05期
《电子元件与材料》
一个单芯片硅微惯性测量组合
第2245-2247页
关键词: 硅微惯性测量组合 单片集成 体硅工艺 硅微陀螺 硅微加速度计
2006年第05期
《传感技术学报》
采用数字校正、PWM反馈技术的
硅微加速度计
第2233-2235页
关键词: 硅微加速度计 数字控制 pwm 静电力反馈
2006年第05B期
《传感技术学报》
一个单芯片硅微惯性测量组合
第2245-2247页
关键词: 硅微惯性测量组合 单片集成 体硅工艺 硅微陀螺 硅微加速度计
2006年第05B期
《传感技术学报》
采用数字校正、PWM反馈技术的
硅微加速度计
第2233-2235页
关键词: 硅微加速度计 数字控制 pwm 静电力反馈
2006年第05期
《传感技术学报》
超高精度隧道式
硅微加速度计
反馈控制电路设计
第28-31页
关键词: 硅微加速度计 反馈控制 控制电路设计 超高精度 隧道式 国家重点实验室 隧道加速度计 ems标准
2007年第C00期
《电子产品世界》
一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计
第231-234页
关键词: 硅微加速度计 挠性轴内置 闭环仿真 开环测试
2007年第07期
《微纳电子技术》
常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高
第1050-1056页
关键词: 硅微加速度计 谐振梁 结构优化 温度补偿 零偏稳定性
2016年第05期
《光学精密工程》
八臂梁
硅微加速度计
横向灵敏度仿真分析
第295-297页
关键词: mems 硅微加速度计 加速度 仿真
2008年第04期
《弹箭与制导学报》
微型惯性测量组合数据采集系统
第69-73页
关键词: 微观性测量单元 微机电系统 硅微陀螺仪 硅微加速度计 数据采集系统
2011年第02期
《自动化仪表》
三轴硅微静电加速度计的实验研究
第359-363页
关键词: 硅微加速度计 静电悬浮 体硅工艺 三轴加速等计
2011年第03期
《中国惯性技术学报》
硅微加速度计
温度特性分析与误差补偿
第25-28页
关键词: 硅微加速度计 温度影响分析 lorentz曲线 零偏 标度因数
2016年第01期
《传感器与微系统》
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