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硅微加速度计测控线路设计及参数调整方法研究第41-42页
关键词: 硅微加速度计  测控线路  参数调整  闭环系统校正  灵敏度  mems  
一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计第22-25页
关键词: 硅微加速度计  隧道电流  反馈放大电路  
2004年第Z3期 《测试技术学报》
悬臂梁式硅微加速度计的研制第17-20页
关键词: 电子技术  mems  硅微加速度计  多芯片组装  
2005年第05期 《电子元件与材料》
一个单芯片硅微惯性测量组合第2245-2247页
关键词: 硅微惯性测量组合  单片集成  体硅工艺  硅微陀螺  硅微加速度计  
2006年第05期 《传感技术学报》
采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计第2233-2235页
关键词: 硅微加速度计  数字控制  pwm  静电力反馈  
2006年第05B期 《传感技术学报》
一个单芯片硅微惯性测量组合第2245-2247页
关键词: 硅微惯性测量组合  单片集成  体硅工艺  硅微陀螺  硅微加速度计  
2006年第05B期 《传感技术学报》
采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计第2233-2235页
关键词: 硅微加速度计  数字控制  pwm  静电力反馈  
2006年第05期 《传感技术学报》
超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计第28-31页
关键词: 硅微加速度计  反馈控制  控制电路设计  超高精度  隧道式  国家重点实验室  隧道加速度计  ems标准  
2007年第C00期 《电子产品世界》
一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计第231-234页
关键词: 硅微加速度计  挠性轴内置  闭环仿真  开环测试  
2007年第07期 《微纳电子技术》
常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高第1050-1056页
关键词: 硅微加速度计  谐振梁  结构优化  温度补偿  零偏稳定性  
2016年第05期 《光学精密工程》
八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析第295-297页
关键词: mems  硅微加速度计  加速度  仿真  
2008年第04期 《弹箭与制导学报》
微型惯性测量组合数据采集系统第69-73页
关键词: 微观性测量单元  微机电系统  硅微陀螺仪  硅微加速度计  数据采集系统  
2011年第02期 《自动化仪表》
三轴硅微静电加速度计的实验研究第359-363页
关键词: 硅微加速度计  静电悬浮  体硅工艺  三轴加速等计  
硅微加速度计温度特性分析与误差补偿第25-28页
关键词: 硅微加速度计  温度影响分析  lorentz曲线  零偏  标度因数  
2016年第01期 《传感器与微系统》