超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计

作者：胡启方; 王玲硅微加速度计反馈控制控制电路设计超高精度隧道式国家重点实验室隧道加速度计ems标准

摘要：典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1所示；图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电子隧道穿通的加速度计以及封装形式。

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