作者：满仲鹏 陈智刚 岳连永mems硅微加速度计加速度仿真
摘要：应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度，分析另外两个轴的输出，便可以得出其横向灵敏度。依据仿真结果，可先求出各个输出轴对应的梁的应力，即可算出其电阻的变化量，从而计算出输出轴的输出电压。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《弹箭与制导学报》（CN：61-1234/TJ）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《弹箭与制导学报》办刊宗旨是报道导弹、制导、控制、导航、弹药、火箭、弹道、气动力、模拟及相关技术领域的学术论文，报道该专业领域最新研究动态和科研成果，为该专业领域的科研、生产、教学、部队使用服务。
省级期刊
人气 238895 评论 36
人气 154505 评论 33
人气 152190 评论 53
人气 123546 评论 54
