真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2018年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

细长石英管内直流放电等离子体研究第259-263页

关键词: 等离子体；  直流放电；  朗缪尔探针；  电子密度；  击穿电压；  

工作参数对磁场增强高功率脉冲磁控溅射放电特性的影响第264-271页

关键词: 高功率脉冲磁控溅射；  磁场；  工作气压；  基体偏压；  靶基间距；  脉冲频率；  脉冲宽度；  

PCB板静电放电的仿真分析第272-278页

关键词: pcb；  静电放电；  电磁场；  电磁兼容；  

高频宽气隙介质阻挡放电负载特性研究第279-283页

关键词: 介质阻挡放电；  脉冲宽度调制；  阻抗匹配；  lissajous图形法；  宽气隙；  

EAST锂化系统的优化及其对等离子体性能的影响第284-289页

关键词: east；  锂化镀膜；  坩埚；  等离子体性能；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

石英晶振真空度检测系统第290-295页

关键词: 石英晶振；  真空度；  小体积；  

基于ANSYS Workbench的薄壁二极铁真空室优化设计第296-301页

关键词: 薄壁真空室；  有限元法；  应力；  变形；  优化设计；  

基于质谱图特征峰匹配的谱库预检索算法第302-305页

关键词: 质谱库检索；  谱图特征峰；  精度；  剩余谱图数；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜第306-312页

关键词: 射频等离子体；  铜籽晶层；  原子层沉积；  

AZO与ITO薄膜电磁散射特性对比试验研究第313-319页

关键词: 掺铝氧化锌；  氧化铟锡；  薄膜；  电磁散射；  雷达散射截面；  

多场耦合下铁电薄膜非线性行为的畴变模型第320-323页

关键词: 铁电薄膜；  畴变；  温度；  本构关系；  残余应变；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

硬质涂层与齿轮钢的摩擦性能研究第324-331页

关键词: alcrn；  tialsin齿轮钢摩擦磨损磨损机制；  

锆合金表面磁控溅射制备SiC／Cr复合涂层的研究第332-338页

关键词: 磁控溅射；  锆合金；  结合力；  高温水蒸气氧化；  

真空科学与技术学报杂志纳米技术

CdxZn1-xSeyS1-y量子点／PVDF纳米复合薄膜的制备与性能研究第339-344页

关键词: 量子点复合薄膜；  聚偏氟乙烯微封装；  光致发光；  

富氮N2／CH4／H2体系中金刚石纳米线的制备研究第345-351页

关键词: 金刚石纳米线；  微波等离子体；  氮掺杂；  化学结构；