真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2015年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

靶基距和锭料蒸发速率对沉积薄板厚度均匀性的影响第255-258页

关键词: 电子束物理气相沉积；  合金薄板；  厚度均匀性；  有效蒸发效率；  

无人机机载液氢储罐绝热结构设计与仿真第266-270页

关键词: 多层绝热；  点支撑；  仿真；  储罐；  无人机；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

Ar-CdCl_2热处理和稀土Nd掺杂对CdS／CdTe复合薄膜结构及其光学性能的影响第271-275页

关键词: 热处理；  nd掺杂；  光学性能；  

不同改性过程对氧化锌薄膜的光学及亲水性能的影响第276-280页

关键词: zno薄膜；  表面改性；  亲水疏水性；  

基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法研究第281-289页

关键词: 氮化硅薄膜；  等离子体增强化学气相沉积；  工艺参数优化；  正交实验；  数字模拟；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

高温铝液中TiAlN硬镀层失效机理研究第290-294页

关键词: 磁控溅射；  tialn镀层；  铝液腐蚀；  失效机理；  

不同频率溅射沉积的新型耐磨二硼化钒涂层的结构及性能第295-300页

关键词: 物理气相沉积磁控溅射；  中频；  力学性能；  摩擦磨损；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

ICP干法刻蚀GaAs背孔工艺研究第306-310页

关键词: 感应耦合等离子体；  gaas；  背孔刻蚀形貌；  

医用锻造CoCrMo合金高压直流等离子氮化性能研究第311-315页

关键词: 医用锻造钴铬钼合金；  高压直流等离子体氮化；  显微硬度；  润湿性；  摩擦性能；  

旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响第316-322页

关键词: 旋转横向磁场；  电弧离子镀；  有限元分析；  阴极弧斑运动；  

真空科学与技术学报杂志真空冶炼

高镉锌真空蒸馏分离锌镉的研究第330-333页

关键词: 高镉锌；  真空蒸馏；  纯镉；  多次蒸馏；  直收率；  

真空条件下含砷锑复杂铜镍合金中元素As，Sb的蒸发规律的研究第338-343页

关键词: 复杂铜镍合金；  真空蒸馏；  挥发规律；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

0．14THz低电压扩展互作用速调管慢波谐振系统的研究第344-348页

关键词: 谐振系统；  速调管；  扩展互作用；  色散曲线；  模式；  

真空科学与技术学报杂志太阳能利用技术

铜薄膜上喷雾热解法制备CuInS_2薄膜第349-353页

关键词: 前驱液；  喷雾热解法；  真空蒸镀；  

真空科学与技术学报杂志其他

强流脉冲电子束辐照AZ91镁合金表面组织及磨损性能研究第358-361页

关键词: 强流脉冲电子束；  镁合金；  表面改性；  显微组织；  磨损；