真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2008年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究第281-285页

关键词: 多点功率馈入；  甚高频等离子体增强化学气相沉积；  电势驻波效应；  电报效应；  

平行板脉冲等离子体推力器工作过程的双温K-B模型仿真第286-290页

关键词: 脉冲等离子体推力器；  双温；  工作过程；  仿真；  

液晶阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究第291-294页

关键词: 薄膜晶体管；  灰化；  四次光刻；  光刻胶；  

氧化铈对M型扩散阴极发射性能影响的研究第295-298页

关键词: 稀土；  ceo2；  扩散阴极；  发射电流密度；  

蒸发速率对Si衬底上SSMBE外延SiC薄膜的影响第299-302页

关键词: 蒸发速率；  碳化硅；  硅衬底；  固源分子束外延；  

电子束辐照对氧化锌纳米线I-V特性的影响第303-307页

关键词: 电子束辐照；  扫描电镜；  zno纳米线；  

螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究第308-312页

关键词: 等离子体诊断；  等离子体参数；  射频调谐朗谬尔探针；  螺旋波等离子体；  

介质管内等离子体表面波传播特性研究第313-317页

关键词: 等离子体；  表面波；  介质管；  传播特性；  影响因素；  

掺氮二氧化钛薄膜的介质阻挡放电化学气相沉积及其结构性能研究第318-324页

关键词: 介质阻挡放电化学气相沉积；  掺氮tio2薄膜；  光催化性；  亲水性；  

真空科学与技术学报杂志综述评论

电场增强金属Al和Ni诱导非晶硅横向结晶第325-330页

关键词: 金属诱导横向结晶；  电场增强横向诱导结晶；  扩散；  固相反应；  晶粒生长；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

聚焦离子束系统液态金属离子源的研制第331-336页

关键词: 聚焦离子束；  液态金属离子源；  测试系统；  发射特性；  

非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的激光损伤过程研究第337-340页

关键词: 类金刚石薄膜；  非平衡磁控溅射；  激光损伤；  损伤形态；  

铁氧体表面无铅焊接薄膜的磁控溅射制备研究第341-345页

关键词: 铁氧体；  磁控溅射；  无铅焊接薄膜；  

七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究第346-350页

关键词: 类金刚石膜；  硬度；  摩擦系数；  附着力；  

直流磁控溅射在铝衬底上沉积（TixAly）N薄膜及其性能研究第351-354页

关键词: 磁控溅射；  薄膜；  性能；