来源：学术之家整理 2025-03-18 15:39:01
《Journal Of Vacuum Science & Technology A》中文名称：《真空科学与技术学报》，创刊于1983年，由AVS Science and Technology Society出版商出版，出版周期Bimonthly。
《真空科学与技术 A 杂志》发表原创研究报告、信件和评论文章，重点关注界面、表面、等离子体和薄膜的基本科学理解，并利用这种理解推动各种技术应用的最新发展。
旨在及时、准确、全面地报道国内外MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS工作者在该领域的科学研究等工作中取得的经验、科研成果、技术革新、学术动态等。
| 机构名称 | 发文量 |
| UNITED STATES DEPARTMEN... | 58 |
| CENTRE NATIONAL DE LA R... | 30 |
| UNITED STATES DEPARTMEN... | 26 |
| LINKOPING UNIVERSITY | 25 |
| UNIVERSITY OF ILLINOIS ... | 24 |
| UNIVERSITY OF CALIFORNI... | 20 |
| CEA | 18 |
| UNIVERSITY OF TEXAS SYS... | 17 |
| UNIVERSITY SYSTEM OF MA... | 17 |
| LAM RESEARCH CORPORATIO... | 16 |
| 国家/地区 | 发文量 |
| USA | 368 |
| Japan | 77 |
| GERMANY (FED REP GER) | 61 |
| South Korea | 56 |
| France | 44 |
| Sweden | 33 |
| CHINA MAINLAND | 31 |
| England | 29 |
| Finland | 26 |
| Netherlands | 26 |
| 文章引用名称 | 引用次数 |
| Review Article: Stress in th... | 72 |
| Status and prospects of plas... | 26 |
| Practical guides for x-ray p... | 23 |
| Functional model for analysi... | 19 |
| Review Article: Catalysts de... | 16 |
| Paradigm shift in thin-film ... | 14 |
| Review Article: Atomic layer... | 14 |
| Atomic layer deposition of s... | 13 |
| Review Article: Crystal alig... | 12 |
| Vapor-deposited octadecaneth... | 11 |
| 被引用期刊名称 | 数量 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 658 |
| THIN SOLID FILMS | 321 |
| SURF COAT TECH | 303 |
| APPL SURF SCI | 280 |
| JPN J APPL PHYS | 253 |
| J APPL PHYS | 217 |
| J PHYS CHEM C | 201 |
| VACUUM | 185 |
| CHEM MATER | 155 |
| ACS APPL MATER INTER | 149 |
| 引用期刊名称 | 数量 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 658 |
| J APPL PHYS | 549 |
| APPL PHYS LETT | 448 |
| THIN SOLID FILMS | 363 |
| PHYS REV B | 338 |
| SURF COAT TECH | 277 |
| CHEM MATER | 221 |
| APPL SURF SCI | 202 |
| J ELECTROCHEM SOC | 168 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 141 |
声明：该作品系作者结合互联网公开知识整合。如有错漏请联系我们，我们将及时更正。
