来源：学术之家整理 2025-03-18 15:38:50
《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》中文名称：《微纳光刻技术杂志》，创刊于2007年，由SPIE出版商出版，出版周期Quarterly。
《微/纳米光刻、MEMS 和 MOEMS 杂志》（JM3）发表同行评审的论文，内容涉及光刻、制造、封装和集成技术的科学、开发和实践，这些技术对于满足电子、微机电系统、微光机电系统和光子学行业的需求必不可少。
旨在及时、准确、全面地报道国内外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在该领域的科学研究等工作中取得的经验、科研成果、技术革新、学术动态等。
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