来源：学术之家整理 2025-03-18 15:36:33
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》中文名称：《真空科学与技术学报B》，创刊于1991年，由A V S AMER INST PHYSICS出版商出版，出版周期Bimonthly。
《真空科学与技术杂志 B》侧重于微米和纳米结构及设备相关的加工、测量和现象。加工可能包括真空加工、等离子加工和微光刻等，而测量则涉及各种材料和设备表征方法，用于了解亚微米和纳米结构及设备的物理和化学性质。
旨在及时、准确、全面地报道国内外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在该领域的科学研究等工作中取得的经验、科研成果、技术革新、学术动态等。
| 文章引用名称 | 引用次数 |
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| 被引用期刊名称 | 数量 |
| JPN J APPL PHYS | 267 |
| J APPL PHYS | 249 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| APPL SURF SCI | 152 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 141 |
| ACS APPL MATER INTER | 126 |
| NANOTECHNOLOGY | 121 |
| APPL PHYS LETT | 112 |
| ECS J SOLID STATE SC | 105 |
| MATER RES EXPRESS | 94 |
| 引用期刊名称 | 数量 |
| APPL PHYS LETT | 314 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| J APPL PHYS | 198 |
| PHYS REV B | 108 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 80 |
| NANO LETT | 77 |
| THIN SOLID FILMS | 66 |
| APPL SURF SCI | 62 |
| MICROELECTRON ENG | 62 |
| NANOTECHNOLOGY | 62 |
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