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超薄锗单晶抛光片质量稳定性研究第527-531页
关键词: 锗抛光片  表面质量  微观平坦度  雾值  稳定性  
2016年第05期 《中国电子科学研究院学报》
超薄Ge单晶抛光片机械强度控制技术第768-771页
关键词: 机械强度  锗抛光片  太阳电池  损伤层  砂轮砂粒粒径  
2010年第08期 《半导体技术》
锗抛光片清洗工艺研究第36-39页
关键词: 清洗技术  雾值  锗抛光片  
2015年第11期 《电子工业专用设备》
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