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2″-105MPa紧急卸荷阀阀座研磨装置的研制第28-29页
关键词: 紧急卸荷阀  阀座  研磨装置  内球面  研磨头  
2015年第06期 《中国高新科技》
磁力磨削Al_2O_3-TiO_2陶瓷涂层试验第38-40页
关键词: 陶瓷涂层  磁力研磨  永磁铁  研磨头  
2016年第09期 《工具技术》
Cu-CMP后的坑状缺陷分析与解决方案第674-676页
关键词: cu化学机械研磨  坑状缺陷  研磨头  研磨盘  
2008年第08期 《半导体技术》
磁力研磨头形状对研磨效果的影响第101-104页
关键词: 磨削  磁力研磨  研磨头  
2008年第01期 《中国工程机械学报》
2″-105MPa紧急卸荷阀阀座研磨装置的研制第28-29页
关键词: 紧急卸荷阀  阀座  研磨装置  内球面  研磨头  
2015年第06期 《中国高新技术企业》
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